美国派克PARKER隔膜减压调压阀

美国派克PARKER隔膜减压调压阀产品概览：

派克Veriflo部门的735W和NPR735W（亚大气压）系列阀门，是为高压气体分配系统而设计，特别是用于超高纯度（UHP）半导体制造操作系统。 该系列产品适用于惰性和腐蚀性气体，具有二级隔膜设计，可大限度地减少供给压力的影响; 因此，无论入口压力如何波动，都能提供稳定的出口压力。
                                         
735W系列调压阀具有*的压缩构件，其在润湿区域无螺纹，从而提高泄漏完整性，并减少颗粒的产生和截留的风险。此种调压阀配有100级洁净室，由Veriflo专有的Vericlean™ 316L不锈钢制成，并带有PCTFE（聚三氟氯乙烯）或者 Vespel®（聚酰亚胺）阀座。这些材料，标准的全内部电抛光和哈氏合金C-22® 隔膜和提升阀相结合在一起，使调压阀入口压力高达3,500 psig时都能保有其的耐腐蚀性和清洁度。阀座还具有自定位设计，可做重复有效关闭，稳定的密封性，以及精确的压力调节。它通过集成的过滤网保护其不受上游气缸带来的污染。

735W系列调压阀，当阀座出现泄漏时，阀门关闭以阻隔带有腐蚀性或有害气体泄漏，并且通过消除下游潜在的聚积高压而提高安全性。调压阀内部（阀座）密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行内外部氦气泄露检测，以确保在苛刻的要求清洁度的UHP应用中，保有其性能和可靠性。

市场：
• 半导体
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业
特点和优势：
• *的压缩构件无需螺纹穿孔将密封与本体连接在一起
• 高循环使用寿命（包括耐腐蚀性付务）
• 内部弹簧设计小化颗粒的产生和气体截留
• 金属对金属隔膜到阀体的密封确保高泄漏完整性
• 内部泄漏率:<2 x 10-9 scc/sec He （额定）
• 外部泄漏率:<2 x 10-10 scc/sec He
• 全压力范围使用:从真空到3,500 psig （NPR735W可用于亚大气压的压力控制）
• Cv 0.04
• 标准的全内部电抛光
应用：
• 腐蚀性气体和特种气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 燃气柜
• 阀组箱（VMB）
• 上游工艺管线

美国派克PARKER隔膜减压调压阀技术规格：

性能特点
阀体材料 316L 不锈钢
压缩构件材料 316L不锈钢（标准），哈氏合金 C-22
隔膜材料 316L不锈钢（标准），哈氏合金 C-22
阀座材料 PCTFE聚三氟氯乙烯(标准)，聚酰亚胺(Vespel)
阀芯材料 316L不锈钢（标准），哈氏合金 C-22
316L不锈钢（标准），Inconel合金
阀芯网材料 哈氏合金 C-22®
帽材料 黄铜镀镍
螺母材料 316L 不锈钢
旋钮材料 ABS树脂
爆破压力 10,500 psig (724 barg)
可承受压力 5,250 psig (362 barg)
流速 Cv: 0.04
内部泄漏率 < 2 x 10-9 scc/sec He
外部泄漏率 < 2 x 10-10 scc/sec He
体积 10. 10 (without fittings) cm3

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